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洁净等级:100级 ≥0.5μm(美联邦209E) 振动半峰值:小于等于3μm(X、Y、Z方向) 照度:≥300LX -
洁净等极：100级@≥0.5μm 工作区风速范围：0.1-0.6m/s 噪音：≤62dB 振动半峰值：≤3μm 照度：≥300LX -
洁净等级:100级 ≥0.5μm(美联邦209E) 振动半峰值:小于等于3μm(X,Y,Z方向) 照度:≥300LX -
洁净等级:100级 ≥0.5μm(美联邦209E) 振动半峰值:≤3μm(X,Y,Z方向) 照度:≥300LX -
洁净等极：100级@≥0.5μm 工作区风速范围：0.1-0.6m/s 噪音：≤62dB 振动半峰值：≤3μm 照度：≥300LX -
洁净等极：100级@≥0.5μm 工作区风速范围：0.1-0.6m/s 噪音：≤62dB 振动半峰值：≤3μm 照度：≥300LX -
洁净等极：100级@≥0.5μm 工作区风速范围：0.1-0.6m/s 噪音：≤62dB 振动半峰值：≤3μm 照度：≥300LX -
洁净等极：100级@≥0.5μm 工作区风速范围：0.1-0.6m/s 噪音：≤62dB 振动半峰值：≤3μm 照度：≥300LX -
洁净等极：100级@≥0.5μm 工作区风速范围：0.1-0.6m/s 噪音：≤62dB 振动半峰值：≤3μm 照度：≥300LX -
洁净等极：100级@≥0.5μm 工作区风速范围：0.1-0.6m/s 噪音：≤62dB 振动半峰值：≤3μm 照度：≥300LX